该项目于2005年立项，经课题组成员2年多时间的努力，研制出了质量轻、精度高、稳定性好、可靠性高、成本低廉的新型MEMS超微压压力传感器。该传感器可广泛应用于科学实验、工业控制、计量等领域，产品应用前景广阔。发表相关论文10余篇，其中4篇被EI收录，1篇被SCI收录，并申请了一项发明专利。

专家委员会一致认为，该压力传感器的相关技术具有创新性和新颖性，处于国内领先，并在超低量程高灵敏度方面达到国际先进水平。鉴于此项目应用前景较好，专家委员会建议尽快推广应用。

该项目的验收和成果鉴定，标志着温州大学在MEMS与传感技术的研究领域里有了一定的研究基础。而该成果的推广应用，必将对温州地区机械电子等相关产业的发展起到良好的促进作用。